XD Laser?激光干涉儀
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產(chǎn)品名稱: XD Laser?激光干涉儀
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
XD Laser?激光干涉儀是由kam lau博士在自主磚利技術(shù)上基礎(chǔ)之上創(chuàng)立的一家高科技公司。API公司位于美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院NIST附近。API的激光跟蹤儀廣泛應(yīng)用與汽車制造、航空航天、船舶制造、工程安裝、石油制造、風(fēng)電核電等行業(yè)。XD Laser?激光干涉儀是API公司的磚利產(chǎn)品，一次安裝即可以測得六個(gè)參數(shù)，包括1個(gè)位置度誤差，2個(gè)直線度誤差和3個(gè)角度誤差。通常需要數(shù)天進(jìn)行的測試。XD Laser?激光干涉儀
XD Laser?激光干涉儀
的詳細(xì)介紹
XD Laser激光干涉儀簡介：
XD Laser激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上，XD Laser激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識(shí)別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù)，記錄長度位置，**束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得，第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。
為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到*小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性，測量儀配有自動(dòng)氣壓，環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響。測量儀還配有站們設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測量誤差降到*低。
主要特點(diǎn)：
1. 同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器*長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測量機(jī)床時(shí)不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間
XD Laser激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：
5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
1.
線性：0.5ppm .
2.
測量范圍：40米(1D可選80米)
3.
線性分辨力：0.001um.
4.
偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5.
*大范圍：800角秒
6.
滾動(dòng)角精度：1.0角秒
7.
直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8.
直線度*大范圍：500um
9.
垂直度精度：1角秒
10.
溫度精度：0.2攝氏度
11.濕度精度：5%
12.壓力精度：1mmHg
